半導体製造装置システム開発
半導体製造装置システムの開発は国内半導体製造装置メーカーや半導体商社からの開発依頼により、装置に関連するシステム開発を長年行ってきました。特に製造装置にインプリメントするGUI開発や装置オンラインであるSECS/HSMS/GEM/GEM300などの実装には豊富な経験と実績を持っています。また、半導体製造装置に関連する生産管理システム、レシピエディタ、ツールやシステムの保守業務等も行っています。
開発実績 |
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SECS/HSMS/GEM/GEM300ソリューション |
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