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半導体製造装置システム開発

半導体製造装置システムの開発は国内半導体製造装置メーカーや半導体商社からの開発依頼により、装置に関連するシステム開発を長年行ってきました。特に製造装置にインプリメントするGUI開発や装置オンラインであるSECS/HSMS/GEM/GEM300などの実装には豊富な経験と実績を持っています。また、半導体製造装置に関連する生産管理システム、レシピエディタ、ツールやシステムの保守業務等も行っています。

開発実績
  • 半導体製造装置生産管理システム
  • SECS/HSMS/GEM/GEM300の装置インプリメンテーション
  • 半導体製造装置コントローラGUI開発
  • 半導体搬送装置I/F開発
  • アラームログ・統計解析等のツール開発
  • 半導体製造装置システム保守
SECS/HSMS/GEM/GEM300ソリューション
  • カナダ PEER Intellectual Property Inc.社 GWGEM
  • シグマシステム株式会社Equipment/Adapter